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四氟化碳的性質(zhì)介紹

更新時間:23/03/01 10:17:03     來源:m.weboas.com
  四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量的等離子體蝕刻氣體,廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃等地方。但是很多用戶不知道四氟化碳的性質(zhì)是什么,今天小編就來詳細的為大家介紹一下:
  CF4在常溫常壓下是一種無色、無味、易于壓縮的氣體,它不溶于水,其物理性質(zhì)如下:熔點-183.6℃,沸點-128.1℃,液體密度(-130℃)1.613g/cm3,液體折光率(-173℃)1.515,固體轉(zhuǎn)變點76.2K,臨界溫度-45.67℃,臨界壓力3.74MPa,臨界密度7.1dm3/mol,標準摩爾生成焓-932.31kJ/mol,標準摩爾生成熵261.04J/mol?K,標準摩爾自由能-929.84kJ/mol,標準摩爾生成自由能-887.41kJ/mol。
  CF4具有高的穩(wěn)定性,屬于完全不燃性氣體,常溫下不與酸、堿及氧化劑反應(yīng),900℃以下不與Cu、Ni、W、Mo等過渡金屬反應(yīng),1000℃不與碳、氫及CH4反應(yīng)。室溫下可與液氨-金屬鈉試劑反應(yīng),高溫下CF4可與堿金屬、堿土金屬及SiO2反應(yīng),生成相應(yīng)的氟化物。CF4在800℃下開始分解,CF4在電弧作用下可與CO和CO2反應(yīng)生成COF2,有人還試圖在碳弧溫度中使CF4聚合來合成其他碳氟化合物。
  由于C-F鍵的化學穩(wěn)定性極強,因此以CF4為代表的全氟烴可認為是無毒的。CF4、C2F6和C3F8的全球變暖勢(GWP)的下限值分別為620、190和53,呈明顯下降趨勢,且遠小于氯氟烴(CFC)、SF6和CO2。
  關(guān)于四氟化碳的性質(zhì)知識講解就是以上內(nèi)容,相信大家一定對它更加感興趣了吧。

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